나노종합기술원 소부장 1년 국산화 성과 지원 역할 톡톡

남용현 (주)트루윈 대표가 23일 나노종합기술원에서 열린 대덕특구 기자간담회 자리서 투르윈 열영상 센서 사업화 경과와 계획 등을 발표하고 있다. 임효인 기자

"100년 전 만든 아스피린을 지금도 먹는 것처럼 오리진(원천) 기술이 개발되면 롱런합니다. 신약 개발에 10년에서 20년이 걸리는 것처럼 센서도 정밀함이 필요해 오랜 시간이 필요한데 작은 성과가 나기 시작했습니다."

나노종합기술원의 연구지원을 받아 열영상 센서를 사업화한 남용현 ㈜트루윈 대표가 자신의 기업 주력상품인 열화상 카메라 '써모비'(ThermoB)를 설명하며 이 같이 말했다. 코로나19 발생 이후 발열성 전염병 확산 방지를 위한 수요가 늘고 있는 열화상 카메라 '써모비'는 국내 중소기업과 국가 연구기관이 협업해 센서 국산화에 성공한 사례다.

1년 전 일본 정부의 수출규제로 소재·부품·장비 국산화 기술 확보 필요성을 확인한 가운데 나노종합기술원의 국내 기업 소재·부품·장비 연구지원 성과가 잇따르고 있다. 내년부턴 대기업 연구시설 수준의 고정밀 장비·시설이 구축돼 해외 의존도가 높은 소재·부품·장비 국산화를 앞당길 수 있을 것으로 기대된다.



나노종합기술원은 23일 연구원에서 대덕특구 기자간담회를 열고 반도체 테스트베드 소재·부품·장비 연구지원 성과를 발표했다. 그동안 해외에서 들여오던 기술을 자체 연구개발로 국산화에 성공했다.

나노종합기술원은 ㈜트루윈의 초소형 비냉각 적외선 열영상 센서를 개발·사업화 지원을 비롯해 DCT머티리얼이 메모리반도체 공정 핵심소재인 하드마스크를 국산화하는 데 시제품 제작 평가 지원과 양상 공정기술 개발을 지원했다. 반도체 제조공정의 핵심소재인 하드마스크는 삼성전자와 SK하이닉스가 주요 수요대상으로 올해 매출액이 144억 원, 내년은 288억 원에 달할 것으로 예상된다.

오재섭 나노종합기술원 나노패턴공정실장이 23일 앞으로 구축될 테스트베드 공간을 기자단에게 보여주며 설명하고 있다.

나노종합기술원은 ㈜오킨스전자가 반도체 테스트용 마이크로 핀을 개발·사업화하는 데도 지원했다. 반도체 미세화와 스마트 기기 소형화를 위한 핵심 기술 개발을 위해 고경도 로듐 도금공정 최적화와 공정을 실증하고 상용화 IC테스트용 장비에 맞는 마이크로핀 설계했다.

나노종합기술원은 오는 2022년까지 450억 원가량을 투입해 ArF이머전스캐너와 트랙 등 300㎜ 반도체 소재·부품·장비 기초·적용평가 지원을 위한 테스트베드를 구축 중이다.

한편, 나노종합기술원은 나노시설·장비의 공동활용을 통한 연구개발 지원 등을 위해 지난 2002년 설립됐다. 임효인 기자

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