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| 한국기술교육대학교(총장 유길상)는 19일 교내 산학협력관에서 나노·원자 수준의 초정밀 미세구조 분석이 가능한 '300kV 수차보정 투과전자현미경(Double Cs-TEM)' 도입 기념식을 개최했다.(사진=한기대 제공) |
이번 행사는 한기대의 공용장비센터가 20년간 다져 온 분석 인프라를 바탕으로 원자 단위 정밀 분석 역량을 대폭 확충하고, 이를 연계한 반도체 후공정 전문 연구지원 거점 센터의 공식 출범을 알리기 위해 마련됐다.
새로 도입된 '300kV 수차보정 투과전자현미경'은 네덜란드 써모피셔사이언티픽사의 최고 등급 전자현미경 장비다.
가속전압 300kV 전자총에서 방출된 전자가 시료의 원자 구조와 상호작용해 형성하는 회절 및 투과 이미지를 통해 나노미터를 넘어 원자 수준까지 관찰할 수 있다.
특히 에너지 분산형 X-선 분광기(EDS)가 탑재되어 나노 구조 시료의 정밀 성분 분석과 불량 원인 규명이 가능하다.
이에 따라 반도체·디스플레이 소재와 박막뿐만 아니라 금속, 섬유, 지질, 바이오, 환경, 에너지, 화학 등 미래 신소재 개발에 필수적인 내부 미세구조 분석을 지원한다.
아울러 융합소재 공정 중 발생하는 미세 이물의 성분을 식별하고 제품 변형의 근본 원인을 파악하는 데 핵심적인 역할을 수행할 예정이다.
남병욱 공용장비센터장은 "지난 20여 년간 축적해 온 소재 분석 기반 위에 최고 성능의 300kV 수차보정 투과전자현미경이 도입되면서 글로벌 수준의 분석 역량을 확보하게 됐다"며 "사업을 이끌어준 진경복 교수와 관계자분들의 노고에 깊이 감사드린다"고 했다.
천안=하재원 기자
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